Karbon Tetrafluorida (CF4)

Parameter Teknikal

Karbon tetrafluorida ialah hidrokarbon terhalogen dengan formula kimia CF4. Ia boleh dianggap sebagai hidrokarbon terhalogen, metana terhalogen, perfluorokarbon, atau sebagai sebatian bukan organik. Karbon tetrafluorida ialah gas tidak berwarna dan tidak berbau, tidak larut dalam air, larut dalam benzena dan kloroform. Stabil di bawah suhu dan tekanan biasa, elakkan oksidan kuat, bahan mudah terbakar atau mudah terbakar. Gas tidak mudah terbakar, tekanan dalaman bekas akan meningkat apabila terdedah kepada haba yang tinggi, dan terdapat bahaya retak dan letupan. Ia stabil secara kimia dan tidak mudah terbakar. Hanya reagen logam ammonia-natrium cecair boleh berfungsi pada suhu bilik. Karbon tetrafluorida ialah gas yang menyebabkan kesan rumah hijau. Ia sangat stabil, boleh tinggal di atmosfera untuk masa yang lama, dan merupakan gas rumah hijau yang sangat kuat. Karbon tetrafluorida digunakan dalam proses etsa plasma pelbagai litar bersepadu. Ia juga digunakan sebagai gas laser, dan digunakan dalam penyejuk suhu rendah, pelarut, pelincir, bahan penebat, dan penyejuk untuk pengesan inframerah. Ia adalah gas etsa plasma yang paling banyak digunakan dalam industri mikroelektronik. Ia adalah campuran gas ketulenan tinggi tetrafluorometana dan gas ketulenan tinggi tetrafluorometana dan oksigen ketulenan tinggi. Ia boleh digunakan secara meluas dalam silikon, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat. Goresan bahan filem nipis seperti tungsten dan tungsten juga digunakan secara meluas dalam pembersihan permukaan peranti elektronik, pengeluaran sel solar, teknologi laser, penyejukan suhu rendah, pemeriksaan kebocoran, dan detergen dalam pengeluaran litar bercetak. Digunakan sebagai penyejuk suhu rendah dan teknologi etsa kering plasma untuk litar bersepadu. Langkah berjaga-jaga untuk penyimpanan: Simpan di dalam gudang gas tidak mudah terbakar yang sejuk dan berventilasi. Jauhkan daripada sumber api dan haba. Suhu penyimpanan tidak boleh melebihi 30°C. Ia harus disimpan secara berasingan daripada bahan mudah terbakar dan oksidan yang mudah (mudah terbakar), dan elakkan penyimpanan bercampur. Kawasan penyimpanan hendaklah dilengkapi dengan peralatan rawatan kecemasan kebocoran.

Permohonan:

① Bahan penyejuk:

Tetrafluoromethane kadangkala digunakan sebagai penyejuk suhu rendah.

② Goresan:

Ia digunakan dalam mikrofabrikasi elektronik sahaja atau digabungkan dengan oksigen sebagai etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.

Pakej biasa:

Kelebihan:

①Ketulenan tinggi, kemudahan terkini;

②Pengilang sijil ISO;

③Penghantaran cepat;

④Sistem analisis dalam talian untuk kawalan kualiti dalam setiap langkah;

⑤Keperluan tinggi dan proses yang teliti untuk mengendalikan silinder sebelum mengisi;