Boron triklorida (BCl3)ialah sebatian bukan organik yang biasa digunakan dalam proses pengukiran kering dan pemendapan wap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor. Ia merupakan gas tidak berwarna dengan bau tajam yang kuat pada suhu bilik dan sensitif terhadap udara lembap kerana ia terhidrolisis untuk menghasilkan asid hidroklorik dan asid borik.

Aplikasi Boron Triklorida

Dalam industri semikonduktor,Boron trikloridaterutamanya digunakan untuk pengetsaan kering aluminium dan sebagai dopan untuk membentuk kawasan jenis-P pada wafer silikon. Ia juga boleh digunakan untuk mengetsa bahan seperti GaAs, Si, AlN dan sebagai sumber boron dalam aplikasi khusus tertentu. Di samping itu, Boron triklorida digunakan secara meluas dalam pemprosesan logam, industri kaca, analisis kimia dan penyelidikan makmal.

Keselamatan Boron Triklorida

Boron trikloridabersifat menghakis dan toksik serta boleh menyebabkan kerosakan serius pada mata dan kulit. Ia terhidrolisis dalam udara lembap untuk melepaskan gas hidrogen klorida toksik. Oleh itu, langkah keselamatan yang sewajarnya perlu diambil semasa mengendalikanBoron triklorida, termasuk memakai pakaian pelindung, gogal dan peralatan perlindungan pernafasan, dan beroperasi dalam persekitaran yang mempunyai pengudaraan yang baik.