Boron triklorida (BCl3)ialah sebatian bukan organik yang biasa digunakan dalam proses etsa kering dan pemendapan wap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor. Ia adalah gas tidak berwarna dengan bau pedas yang kuat pada suhu bilik dan sensitif kepada udara lembap kerana ia terhidrolisis untuk menghasilkan asid hidroklorik dan asid borik.

Aplikasi Boron Trichloride

Dalam industri semikonduktor,Boron trikloridadigunakan terutamanya untuk mengetsa kering aluminium dan sebagai dopan untuk membentuk kawasan jenis P pada wafer silikon. Ia juga boleh digunakan untuk mengetsa bahan seperti GaAs, Si, AlN, dan sebagai sumber boron dalam aplikasi khusus tertentu. Di samping itu, Boron trichloride digunakan secara meluas dalam pemprosesan logam, industri kaca, analisis kimia dan penyelidikan makmal.

Keselamatan Boron Trichloride

Boron trikloridamenghakis dan toksik serta boleh menyebabkan kerosakan serius pada mata dan kulit. Ia menghidrolisis dalam udara lembap untuk membebaskan gas hidrogen klorida toksik. Oleh itu, langkah keselamatan yang sewajarnya perlu diambil semasa mengendalikanBoron triklorida, termasuk memakai pakaian pelindung, cermin mata dan peralatan perlindungan pernafasan, dan beroperasi dalam persekitaran yang mempunyai pengudaraan yang baik.