Boron Trichloride (BCL3)adalah kompaun bukan organik yang biasa digunakan dalam proses etsa kering dan pemendapan wap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor. Ia adalah gas tanpa warna dengan bau pedas yang kuat pada suhu bilik dan sensitif terhadap udara lembap kerana ia menghidrolisis untuk menghasilkan asid hidroklorik dan asid borik.

Aplikasi boron trichloride

Dalam industri semikonduktor,Boron Trichlorideterutamanya digunakan untuk etsa aluminium kering dan sebagai dopan untuk membentuk kawasan p-jenis pada wafer silikon. Ia juga boleh digunakan untuk bahan -bahan seperti GaAs, SI, ALN, dan sebagai sumber boron dalam aplikasi tertentu tertentu. Di samping itu, boron trichloride digunakan secara meluas dalam pemprosesan logam, industri kaca, analisis kimia dan penyelidikan makmal.

Keselamatan boron trichloride

Boron Trichlorideadalah menghakis dan toksik dan boleh menyebabkan kerosakan serius pada mata dan kulit. Ia menghidrolisis dalam udara lembap untuk melepaskan gas klorida hidrogen toksik. Oleh itu, langkah keselamatan yang sesuai perlu diambil semasa mengendalikanBoron Trichloride, termasuk memakai pakaian pelindung, kacamata dan peralatan perlindungan pernafasan, dan beroperasi dalam persekitaran yang berventilasi.