Hidrogen kloridaialah gas tidak berwarna dengan bau pedas. Larutan berairnya dipanggil asid hidroklorik, juga dikenali sebagai asid hidroklorik. Hidrogen klorida sangat larut dalam air. Pada 0°C, 1 isipadu air boleh melarutkan kira-kira 500 isipadu hidrogen klorida.

Ia mempunyai sifat dan ciri berikut:

1. Ketulenan yang tinggi

Ketulenan gred elektronikhidrogen kloridaadalah sangat tinggi, biasanya pada tahap ppm atau lebih rendah, untuk memastikan tiada kekotoran dimasukkan ke dalam proses pembuatan semikonduktor.

2. Lengai

Ia adalah gas lengai secara kimia yang tidak bertindak balas dengan banyak bahan lain, yang sangat penting untuk mengelakkan pencemaran bahan dan peralatan semikonduktor.

3. Kestabilan yang tinggi

Gred elektronikhidrogen kloridaumumnya mempunyai kimia yang stabil untuk memastikan pemprosesan semikonduktor yang boleh dipercayai.

Dalam pemprosesan semikonduktor, aplikasi utama hidrogen klorida gred elektronik termasuk:

1. Pembersihan dan penyediaan permukaan

Sebagai pembersih permukaan yang cekap, gred elektronikhidrogen kloridadigunakan untuk mengeluarkan oksida dan kekotoran dari permukaan substrat untuk memastikan kualiti dan ketulenan lapisan atau filem epitaxial.

2. Bantuan pertumbuhan epitaxial

Digunakan sebagai agen rawatan permukaan dalam proses epitaxial, ia membantu meningkatkan kualiti lapisan epitaxial, meningkatkan padanan kekisi, dan mengurangkan pembentukan kecacatan kekisi.

3. Prarawatan substrat

Sebelum penyediaan peranti semikonduktor, gred elektronikhidrogen kloridaboleh digunakan untuk merawat permukaan substrat untuk membentuk asas yang stabil untuk meningkatkan lekatan antara lapisan epitaxial dan substrat.

4. Ejen tambahan pemendapan

Dalam proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan wap fizikal (PVD), hidrogen klorida gred elektronik boleh digunakan sebagai medium pemindahan fasa gas untuk mengambil bahagian dalam tindak balas pemendapan bahan semikonduktor.

5. Ejen pemindahan fasa gas

Sebagai agen pemindahan fasa gas, prekursor gas lain dimasukkan ke dalam ruang tindak balas untuk membantu melaraskan kadar pemendapan dan keseragaman bahan.

Ciri-ciri ini menjadikan gred elektronikhidrogen kloridaagen pemprosesan penting dalam teknologi semikonduktor, yang mempunyai kesan utama terhadap prestasi dan kebolehpercayaan peranti akhir.

Selain penggunaannya dalam pemprosesan semikonduktor, hidrogen klorida gred elektronik boleh menemui pelbagai kegunaan di kawasan lain, termasuk: Penyediaan bahan ketulenan tinggi, Sel Bahan Api, Pertumbuhan bahan Semikonduktor, Litografi Fasa Wap, Analisis Bahan, Penyelidikan Kimia.

Secara umum, gred elektronikhidrogen kloridaialah gas serba boleh, ketulenan tinggi yang mempunyai pelbagai aplikasi di luar pembuatan semikonduktor.