Hidrogen kloridaialah gas tidak berwarna dengan bau yang tajam. Larutan akueusnya dipanggil asid hidroklorik, juga dikenali sebagai asid hidroklorik. Hidrogen klorida sangat larut dalam air. Pada suhu 0°C, 1 isipadu air boleh melarutkan kira-kira 500 isipadu hidrogen klorida.

Ia mempunyai ciri-ciri dan sifat-sifat berikut:

1. Ketulenan tinggi

Ketulenan gred elektronikhidrogen kloridaadalah sangat tinggi, biasanya pada tahap ppm atau lebih rendah, untuk memastikan tiada bendasing diperkenalkan ke dalam proses pembuatan semikonduktor.

2. Ketidakaktifan

Ia merupakan gas lengai secara kimia yang tidak bertindak balas dengan banyak bahan lain, yang sangat penting untuk mencegah pencemaran bahan dan peralatan semikonduktor.

3. Kestabilan tinggi

Gred elektronikhidrogen kloridasecara amnya mempunyai kimia yang stabil untuk memastikan pemprosesan semikonduktor yang andal.

Dalam pemprosesan semikonduktor, aplikasi utama hidrogen klorida gred elektronik termasuk:

1. Pembersihan dan penyediaan permukaan

Sebagai pembersih permukaan yang cekap, gred elektronikhidrogen kloridadigunakan untuk menyingkirkan oksida dan bendasing daripada permukaan substrat bagi memastikan kualiti dan ketulenan lapisan atau filem epitaksi.

2. Bantuan pertumbuhan epitaksial

Digunakan sebagai agen rawatan permukaan dalam proses epitaksial, ia membantu meningkatkan kualiti lapisan epitaksial, meningkatkan pemadanan kekisi, dan mengurangkan pembentukan kecacatan kekisi.

3. Prarawatan substrat

Sebelum penyediaan peranti semikonduktor, gred elektronikhidrogen kloridaboleh digunakan untuk merawat permukaan substrat bagi membentuk asas yang stabil bagi meningkatkan lekatan antara lapisan epitaksial dan substrat.

4. Ejen bantu pemendapan

Dalam proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan wap fizikal (PVD), hidrogen klorida gred elektronik boleh digunakan sebagai medium pemindahan fasa gas untuk mengambil bahagian dalam tindak balas pemendapan bahan semikonduktor.

5. Agen pemindahan fasa gas

Sebagai agen pemindahan fasa gas, prekursor gas lain diperkenalkan ke dalam ruang tindak balas untuk membantu melaraskan kadar pemendapan dan keseragaman bahan.

Ciri-ciri ini menjadikan gred elektronikhidrogen kloridaagen pemprosesan penting dalam teknologi semikonduktor, yang mempunyai impak utama terhadap prestasi dan kebolehpercayaan peranti akhir.

Selain penggunaannya dalam pemprosesan semikonduktor, hidrogen klorida gred elektronik boleh menemui pelbagai kegunaan dalam bidang lain, termasuk: Penyediaan bahan ketulenan tinggi, Sel Bahan Api, Pertumbuhan bahan Semikonduktor, Litografi Fasa Wap, Analisis Bahan, Penyelidikan Kimia.

Secara amnya, gred elektronikhidrogen kloridaialah gas serba boleh dan berketulenan tinggi yang mempunyai pelbagai aplikasi di luar pembuatan semikonduktor.