Pada tahun 2018, pasaran gas elektronik global untuk litar bersepadu mencapai AS $ 4.512 bilion, peningkatan tahun ke tahun sebanyak 16%. Kadar pertumbuhan tinggi industri gas khas elektronik untuk semikonduktor dan saiz pasaran yang besar telah mempercepatkan pelan penggantian domestik gas khas elektronik!
Apakah gas elektron?
Gas elektronik merujuk kepada bahan sumber asas yang digunakan dalam pengeluaran semikonduktor, paparan panel rata, diod pemancar cahaya, sel solar dan produk elektronik lain, dan digunakan secara meluas dalam pembersihan, etsa, pembentukan filem, doping dan proses lain. Bidang aplikasi utama gas elektronik termasuk industri elektronik, sel solar, komunikasi mudah alih, navigasi kereta dan sistem audio dan video kereta, aeroangkasa, industri ketenteraan dan banyak bidang lain.
Gas khas elektronik boleh dibahagikan kepada tujuh kategori mengikut komposisi kimianya sendiri: silikon, arsenik, fosforus, boron, hidrida logam, halida dan alkoxide logam. Menurut kaedah aplikasi yang berlainan dalam litar bersepadu, ia boleh dibahagikan kepada gas doping, gas epitaxy, gas implantasi ion, gas diod pemancar cahaya, gas etsa, gas pemendapan wap kimia dan gas keseimbangan. Terdapat lebih daripada 110 unit gas khas yang digunakan dalam industri semikonduktor, di mana lebih daripada 30 biasa digunakan.
Umumnya, industri pengeluaran semikonduktor membahagikan gas ke dalam dua jenis: gas biasa dan gas khas. Antaranya, gas yang biasa digunakan merujuk kepada bekalan berpusat dan menggunakan banyak gas, seperti n2, h2, o2, ar, dia, dan lain-lain. NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, dll.
Dalam keseluruhan proses pengeluaran industri semikonduktor, dari pertumbuhan cip ke pembungkusan peranti akhir, hampir setiap pautan tidak dapat dipisahkan dari gas khas elektronik, dan pelbagai keperluan gas dan berkualiti tinggi, jadi gas elektronik mempunyai bahan semikonduktor. "Makanan".
Dalam tahun -tahun kebelakangan ini, komponen elektronik utama China seperti semikonduktor dan panel paparan telah meningkat dalam kapasiti pengeluaran baru, dan terdapat permintaan yang kuat untuk penggantian import bahan kimia elektronik. Kedudukan gas elektronik dalam industri semikonduktor telah menjadi semakin menonjol. Industri gas elektronik domestik akan membawa pertumbuhan pesat.
Gas khas elektronik mempunyai keperluan yang sangat tinggi untuk kesucian, kerana jika kesucian tidak terpulang kepada keperluan, kumpulan -kumpulan kekotoran seperti wap air dan oksigen dalam gas khas elektronik akan dengan mudah membentuk filem oksida di permukaan semikonduktor, yang mempengaruhi hayat perkhidmatan elektronik, dan gas -gas yang tidak dapat menyebabkan pelepasan. Ia boleh dikatakan bahawa peningkatan kesucian memainkan peranan penting dalam hasil dan prestasi pengeluaran peranti elektronik.
Dengan perkembangan berterusan industri semikonduktor, proses pembuatan cip terus bertambah baik, dan kini ia telah mencapai 5Nm, yang akan mendekati batas undang-undang Moore, yang bersamaan dengan satu puluh dua diameter rambut manusia (kira-kira 0.1 mm). Oleh itu, ini juga meletakkan keperluan yang lebih tinggi ke atas kesucian gas khas elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Masa Post: Dec-15-2021
