Pada 2018, pasaran gas elektronik global untuk litar bersepadu mencecah AS$4.512 bilion, peningkatan tahun ke tahun sebanyak 16%. Kadar pertumbuhan tinggi industri gas khas elektronik untuk semikonduktor dan saiz pasaran yang besar telah mempercepatkan pelan penggantian domestik gas khas elektronik!
Apakah gas elektron?
Gas elektronik merujuk kepada bahan sumber asas yang digunakan dalam pengeluaran semikonduktor, paparan panel rata, diod pemancar cahaya, sel solar dan produk elektronik lain, dan digunakan secara meluas dalam pembersihan, etsa, pembentukan filem, doping dan proses lain. Bidang aplikasi utama gas elektronik termasuk industri elektronik, sel solar, komunikasi mudah alih, navigasi kereta dan sistem audio dan video kereta, aeroangkasa, industri ketenteraan dan banyak lagi bidang lain.
Gas khas elektronik boleh dibahagikan kepada tujuh kategori mengikut komposisi kimianya sendiri: silikon, arsenik, fosforus, boron, hidrida logam, halida dan logam alkoksida. Mengikut kaedah aplikasi yang berbeza dalam litar bersepadu, ia boleh dibahagikan kepada gas doping, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas diod pemancar cahaya, gas etsa, gas pemendapan wap kimia dan gas keseimbangan. Terdapat lebih daripada 110 unit gas khas yang digunakan dalam industri semikonduktor, yang mana lebih daripada 30 gas biasa digunakan.
Secara amnya, industri pengeluaran semikonduktor membahagikan gas kepada dua jenis: gas biasa dan gas khas. Antaranya, gas yang biasa digunakan merujuk kepada bekalan terpusat dan menggunakan banyak gas, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dll. Gas khas merujuk kepada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses pengeluaran semikonduktor, seperti sambungan, suntikan ion, pengadunan, pencucian dan pembentukan topeng, yang kini kita panggil gas khas elektronik, seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O ketulenan tinggi, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dsb.
Dalam keseluruhan proses pengeluaran industri semikonduktor, dari pertumbuhan cip ke pembungkusan peranti akhir, hampir setiap pautan tidak dapat dipisahkan daripada gas khas elektronik, dan pelbagai gas yang digunakan dan keperluan kualiti tinggi, jadi gas elektronik mempunyai bahan semikonduktor. “Makanan”.
Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, komponen elektronik utama China seperti semikonduktor dan panel paparan telah meningkat dalam kapasiti pengeluaran baharu, dan terdapat permintaan yang kuat untuk penggantian import bahan kimia elektronik. Kedudukan gas elektronik dalam industri semikonduktor telah menjadi semakin menonjol. Industri gas elektronik domestik akan mendorong pertumbuhan pesat.
Gas khas elektronik mempunyai keperluan yang sangat tinggi untuk ketulenan, kerana jika ketulenan tidak memenuhi keperluan, kumpulan kekotoran seperti wap air dan oksigen dalam gas khas elektronik akan dengan mudah membentuk filem oksida pada permukaan semikonduktor, yang menjejaskan hayat perkhidmatan peranti elektronik, dan gas khas elektronik mengandungi Zarah-zarah kekotoran boleh menyebabkan litar pintas semikonduktor dan kerosakan litar. Boleh dikatakan bahawa peningkatan ketulenan memainkan peranan penting dalam hasil dan prestasi pengeluaran peranti elektronik.
Dengan pembangunan berterusan industri semikonduktor, proses pembuatan cip terus bertambah baik, dan kini telah mencapai 5nm, yang hampir menghampiri had Hukum Moore, yang bersamaan dengan satu perdua puluh diameter rambut manusia ( kira-kira 0.1 mm). Oleh itu, ini juga mengemukakan keperluan yang lebih tinggi mengenai ketulenan gas khas elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Masa siaran: 15-Dis-2021
