Pada tahun 2018, pasaran gas elektronik global untuk litar bersepadu mencecah US$4.512 bilion, peningkatan tahun ke tahun sebanyak 16%. Kadar pertumbuhan tinggi industri gas khas elektronik untuk semikonduktor dan saiz pasaran yang besar telah mempercepatkan pelan penggantian domestik gas khas elektronik!
Apakah gas elektron?
Gas elektronik merujuk kepada bahan sumber asas yang digunakan dalam pengeluaran semikonduktor, paparan panel rata, diod pemancar cahaya, sel suria dan produk elektronik lain, dan digunakan secara meluas dalam pembersihan, pengetsaan, pembentukan filem, pendopan dan proses lain. Bidang aplikasi utama gas elektronik termasuk industri elektronik, sel suria, komunikasi mudah alih, navigasi kereta dan sistem audio dan video kereta, aeroangkasa, industri ketenteraan dan banyak bidang lain.
Gas khas elektronik boleh dibahagikan kepada tujuh kategori mengikut komposisi kimianya sendiri: silikon, arsenik, fosforus, boron, hidrida logam, halida dan alkoksida logam. Mengikut kaedah aplikasi yang berbeza dalam litar bersepadu, ia boleh dibahagikan kepada gas pendopan, gas epitaksi, gas implantasi ion, gas diod pemancar cahaya, gas etsa, gas pemendapan wap kimia dan gas keseimbangan. Terdapat lebih daripada 110 unit gas khas yang digunakan dalam industri semikonduktor, yang mana lebih daripada 30 daripadanya biasa digunakan.
Secara amnya, industri pengeluaran semikonduktor membahagikan gas kepada dua jenis: gas biasa dan gas khas. Antaranya, gas yang biasa digunakan merujuk kepada bekalan berpusat dan menggunakan banyak gas, seperti N2, H2, O2, Ar, He, dan sebagainya. Gas khas merujuk kepada beberapa gas kimia yang digunakan dalam proses pengeluaran semikonduktor, seperti pemanjangan, suntikan ion, pengadunan, pencucian, dan pembentukan topeng, yang kini kita panggil gas khas elektronik, seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, dan sebagainya.
Dalam keseluruhan proses pengeluaran industri semikonduktor, daripada pertumbuhan cip hingga pembungkusan peranti akhir, hampir setiap pautan tidak dapat dipisahkan daripada gas khas elektronik, dan pelbagai jenis gas yang digunakan dan keperluan kualiti yang tinggi, jadi gas elektronik mempunyai bahan semikonduktor. "Makanan".
Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, komponen elektronik utama China seperti semikonduktor dan panel paparan telah meningkat dalam kapasiti pengeluaran baharu, dan terdapat permintaan yang kukuh untuk penggantian import bahan kimia elektronik. Kedudukan gas elektronik dalam industri semikonduktor telah menjadi semakin penting. Industri gas elektronik domestik akan membawa pertumbuhan pesat.
Gas khas elektronik mempunyai keperluan ketulenan yang sangat tinggi, kerana jika ketulenan tidak memenuhi keperluan, kumpulan bendasing seperti wap air dan oksigen dalam gas khas elektronik akan mudah membentuk filem oksida pada permukaan semikonduktor, yang menjejaskan hayat perkhidmatan peranti elektronik, dan gas khas elektronik mengandungi zarah bendasing yang boleh menyebabkan litar pintas semikonduktor dan kerosakan litar. Boleh dikatakan bahawa peningkatan ketulenan memainkan peranan penting dalam hasil dan prestasi pengeluaran peranti elektronik.
Dengan perkembangan berterusan industri semikonduktor, proses pembuatan cip terus bertambah baik, dan kini ia telah mencapai 5nm, yang hampir menghampiri had Hukum Moore, yang bersamaan dengan satu perdua puluh diameter rambut manusia (kira-kira 0.1 mm). Oleh itu, ini juga mengemukakan keperluan yang lebih tinggi terhadap ketulenan gas khas elektronik yang dihasilkan oleh semikonduktor.
Masa siaran: 15 Dis-2021
