Tungsten heksafluorida (WF6) diendapkan pada permukaan wafer melalui proses CVD, mengisi parit sambungan logam, dan membentuk sambungan logam antara lapisan.
Mari kita bercakap tentang plasma dahulu.Plasma ialah satu bentuk jirim yang terutamanya terdiri daripada elektron bebas dan ion bercas.Ia wujud secara meluas di alam semesta dan sering dianggap sebagai keadaan jirim keempat.Ia dipanggil keadaan plasma, juga dipanggil "Plasma".Plasma mempunyai kekonduksian elektrik yang tinggi dan mempunyai kesan gandingan yang kuat dengan medan elektromagnet.Ia adalah gas terion separa, terdiri daripada elektron, ion, radikal bebas, zarah neutral, dan foton.Plasma itu sendiri adalah campuran neutral elektrik yang mengandungi zarah aktif secara fizikal dan kimia.
Penjelasan yang mudah ialah di bawah tindakan tenaga tinggi, molekul akan mengatasi daya van der Waals, daya ikatan kimia dan daya Coulomb, dan membentangkan satu bentuk elektrik neutral secara keseluruhan.Pada masa yang sama, tenaga tinggi yang diberikan oleh luar mengatasi tiga daya di atas.Fungsi, elektron dan ion membentangkan keadaan bebas, yang boleh digunakan secara buatan di bawah modulasi medan magnet, seperti proses etsa semikonduktor, proses CVD, PVD dan proses IMP.
Apakah tenaga tinggi?Secara teori, kedua-dua suhu tinggi dan RF frekuensi tinggi boleh digunakan.Secara umumnya, suhu tinggi hampir mustahil untuk dicapai.Keperluan suhu ini terlalu tinggi dan mungkin hampir dengan suhu matahari.Ia pada asasnya mustahil untuk dicapai dalam proses itu.Oleh itu, industri biasanya menggunakan RF frekuensi tinggi untuk mencapainya.RF Plasma boleh mencapai setinggi 13MHz+.
Tungsten heksafluorida diplasmakan di bawah tindakan medan elektrik, dan kemudian didepositkan wap oleh medan magnet.Atom W adalah serupa dengan bulu angsa musim sejuk dan jatuh ke tanah di bawah tindakan graviti.Perlahan-lahan, atom W didepositkan ke dalam lubang melalui, dan akhirnya diisi penuh melalui lubang untuk membentuk sambungan logam.Selain mendepositkan atom W dalam lubang melalui, adakah ia juga akan didepositkan pada permukaan Wafer?Ya sememangnya.Secara umumnya, anda boleh menggunakan proses W-CMP, yang kami panggil proses pengisaran mekanikal untuk dialih keluar.Ia sama seperti menggunakan penyapu untuk menyapu lantai selepas salji tebal.Salji di atas tanah dihanyutkan, tetapi salji di dalam lubang di tanah akan kekal.Bawah, lebih kurang sama.
Masa siaran: Dis-24-2021
