Elektronikgas khasadalah cawangan gas khas yang penting. Mereka menembusi hampir setiap pautan pengeluaran semikonduktor dan bahan mentah yang sangat diperlukan untuk pengeluaran industri elektronik seperti litar bersepadu ultra-besar, peranti paparan panel rata, dan sel solar.

Dalam teknologi semikonduktor, gas yang mengandungi fluorin digunakan secara meluas. Pada masa ini, dalam pasaran gas elektronik global, gas elektronik yang mengandungi fluorin menyumbang kira-kira 30% daripada jumlah keseluruhan. Gas elektronik yang mengandungi fluorin adalah komponen penting dalam gas elektronik khas dalam bidang bahan maklumat elektronik. Mereka terutamanya digunakan sebagai agen pembersih dan ejen etsa, dan juga boleh digunakan sebagai dopan, bahan pembentukan filem, dan lain-lain. Dalam artikel ini, penulis akan membawa anda untuk memahami gas yang mengandungi fluorin yang biasa.

Berikut ini biasanya digunakan gas yang mengandungi fluorin

Nitrogen trifluoride (NF3): gas yang digunakan untuk membersihkan dan mengeluarkan deposit, biasanya digunakan untuk pembersihan ruang reaksi dan permukaan peralatan.

Sulfur Hexafluoride (SF6): Ejen fluorinating yang digunakan dalam proses pemendapan oksida dan sebagai gas penebat untuk mengisi media penebat.

Hidrogen fluorida (HF): Digunakan untuk mengeluarkan oksida dari permukaan silikon dan sebagai etchant untuk silikon etsa dan bahan lain.

Nitrogen fluorida (NF): digunakan untuk bahan -bahan etch seperti silikon nitrida (SIN) dan aluminium nitrida (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) danTetrafluoromethane (CF4): Digunakan untuk bahan fluorida seperti silikon fluorida dan fluorida aluminium.

Walau bagaimanapun, gas yang mengandungi fluorin mempunyai bahaya tertentu, termasuk ketoksikan, keterujaan, dan kebakaran.

Ketoksikan

Sesetengah gas yang mengandungi fluorin adalah toksik, seperti hidrogen fluorida (HF), yang wapnya sangat menjengkelkan pada kulit dan saluran pernafasan dan berbahaya kepada kesihatan manusia.

Kekerasan

Hidrogen fluorida dan beberapa fluorida sangat mengakis dan boleh menyebabkan kerosakan yang serius pada kulit, mata dan saluran pernafasan.

Mudah terbakar

Sesetengah fluorida mudah terbakar dan bertindak balas dengan oksigen atau air di udara untuk melepaskan haba yang kuat dan gas toksik, yang boleh menyebabkan kebakaran atau letupan.

Bahaya tekanan tinggi

Sesetengah gas fluorinated letupan di bawah tekanan tinggi dan memerlukan penjagaan khas apabila digunakan dan disimpan.

Memberi kesan kepada persekitaran

Gas yang mengandungi fluorin mempunyai jangka hayat atmosfera yang tinggi dan nilai GWP, yang mempunyai kesan merosakkan pada lapisan ozon atmosfera dan boleh menyebabkan pemanasan global dan pencemaran alam sekitar.

Penggunaan gas dalam bidang baru seperti elektronik terus memperdalam, membawa sejumlah besar permintaan baru untuk gas perindustrian. Berdasarkan banyak kapasiti pengeluaran baru komponen elektronik utama seperti semikonduktor dan panel paparan di tanah besar China dalam beberapa tahun akan datang, serta permintaan yang kukuh untuk penggantian import bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik akan membawa kadar pertumbuhan yang tinggi.