elektronikgas khasmerupakan cabang penting gas khas. Ia menembusi hampir setiap pautan pengeluaran semikonduktor dan merupakan bahan mentah yang sangat diperlukan untuk pengeluaran industri elektronik seperti litar bersepadu berskala ultra besar, peranti paparan panel rata dan sel solar.

Dalam teknologi semikonduktor, gas yang mengandungi fluorin digunakan secara meluas. Pada masa ini, dalam pasaran gas elektronik global, gas elektronik yang mengandungi fluorin menyumbang kira-kira 30% daripada jumlah keseluruhan. Gas elektronik yang mengandungi fluorin adalah komponen penting gas elektronik khas dalam bidang bahan maklumat elektronik. Ia digunakan terutamanya sebagai agen pembersih dan agen etsa, dan juga boleh digunakan sebagai dopan, bahan pembentuk filem, dsb. Dalam artikel ini, penulis akan membawa anda memahami gas biasa yang mengandungi fluorin.

Berikut adalah gas yang mengandungi fluorin yang biasa digunakan

Nitrogen trifluorida (NF3): Gas yang digunakan untuk membersihkan dan mengeluarkan mendapan, biasanya digunakan untuk membersihkan ruang tindak balas dan permukaan peralatan.

Sulfur heksafluorida (SF6): Ejen fluorinating yang digunakan dalam proses pemendapan oksida dan sebagai gas penebat untuk mengisi media penebat.

Hidrogen fluorida (HF): Digunakan untuk mengeluarkan oksida dari permukaan silikon dan sebagai etsa untuk mengetsa silikon dan bahan lain.

Nitrogen fluorida (NF): Digunakan untuk mengetsa bahan seperti silikon nitrida (SiN) dan aluminium nitrida (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) dantetrafluorometana (CF4): Digunakan untuk mengetsa bahan fluorida seperti silikon fluorida dan aluminium fluorida.

Walau bagaimanapun, gas yang mengandungi fluorin mempunyai bahaya tertentu, termasuk ketoksikan, kekakisan dan mudah terbakar.

Ketoksikan

Sesetengah gas yang mengandungi fluorin adalah toksik, seperti hidrogen fluorida (HF), yang wapnya sangat merengsakan kulit dan saluran pernafasan serta berbahaya kepada kesihatan manusia.

Kehakisan

Hidrogen fluorida dan beberapa fluorida sangat menghakis dan boleh menyebabkan kerosakan serius pada kulit, mata dan saluran pernafasan.

Kemudahbakaran

Sesetengah fluorida mudah terbakar dan bertindak balas dengan oksigen atau air di udara untuk membebaskan haba yang kuat dan gas toksik, yang boleh menyebabkan kebakaran atau letupan.

Bahaya tekanan tinggi

Sesetengah gas berfluorinat adalah mudah meletup di bawah tekanan tinggi dan memerlukan penjagaan khas apabila digunakan dan disimpan.

Kesan kepada alam sekitar

Gas yang mengandungi fluorin mempunyai jangka hayat atmosfera yang tinggi dan nilai GWP, yang mempunyai kesan merosakkan pada lapisan ozon atmosfera dan boleh menyebabkan pemanasan global dan pencemaran alam sekitar.

Penggunaan gas dalam bidang baru muncul seperti elektronik terus mendalam, membawa sejumlah besar permintaan baharu untuk gas industri. Berdasarkan jumlah besar kapasiti pengeluaran baharu komponen elektronik utama seperti semikonduktor dan panel paparan di tanah besar China dalam beberapa tahun akan datang, serta permintaan kukuh untuk penggantian import bahan kimia elektronik, industri gas elektronik domestik akan memulakan kadar pertumbuhan yang tinggi.