Apa itukarbon tetrafluorida? Apakah kegunaannya?
Karbon tetrafluorida, juga dikenali sebagai tetrafluoromethane, dianggap sebagai sebatian bukan organik. Ia digunakan dalam proses etsa plasma pelbagai litar bersepadu, dan juga digunakan sebagai gas laser dan penyejuk. Ia agak stabil di bawah suhu dan tekanan biasa, tetapi perlu mengelakkan sentuhan dengan oksidan kuat, bahan mudah terbakar atau mudah terbakar. Karbon tetrafluorida ialah gas tidak mudah terbakar. Jika ia menghadapi haba yang tinggi, ia akan menyebabkan tekanan dalaman bekas meningkat, dan terdapat bahaya retak dan letupan. Biasanya ia hanya boleh berinteraksi dengan reagen logam ammonia-natrium cecair pada suhu bilik.
Karbon tetrafluoridakini merupakan gas etsa plasma terbesar yang digunakan dalam industri mikroelektronik. Ia boleh digunakan secara meluas dalam etsa silikon, silikon dioksida, kaca fosfosilikat dan bahan filem nipis lain, membersihkan permukaan peranti elektronik, pengeluaran sel suria, teknologi laser, penebat fasa gas, penyejukan suhu rendah, agen pengesanan kebocoran, dan detergen dalam pengeluaran litar bercetak mempunyai sejumlah besar aplikasi.
Masa siaran: Nov-01-2021
