Silaneialah sebatian silikon dan hidrogen, dan merupakan istilah umum untuk siri sebatian. Silane terutamanya termasuk monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) dan beberapa sebatian hidrogen silikon tahap lebih tinggi, dengan formula umum SinH2n+2. Walau bagaimanapun, dalam pengeluaran sebenar, kami biasanya merujuk kepada monosilane (rumus kimia SiH4) sebagai "silane".

Gred elektronikgas silaneterutamanya diperoleh melalui pelbagai penyulingan tindak balas dan penulenan serbuk silikon, hidrogen, silikon tetraklorida, mangkin, dll. Silana dengan ketulenan 3N hingga 4N dipanggil silan gred industri, dan silan dengan ketulenan lebih daripada 6N dipanggil elektronik- gas silane gred.

Sebagai sumber gas untuk membawa komponen silikon,gas silanetelah menjadi gas khas penting yang tidak boleh digantikan oleh banyak sumber silikon lain kerana ketulenan yang tinggi dan keupayaan untuk mencapai kawalan halus. Monosilane menjana silikon kristal melalui tindak balas pirolisis, yang kini merupakan salah satu kaedah untuk pengeluaran berskala besar silikon monohablur berbutir dan silikon polihabluran di dunia.

Ciri-ciri silane

Silane (SiH4)ialah gas tidak berwarna yang bertindak balas dengan udara dan menyebabkan sesak nafas. Sinonimnya ialah silikon hidrida. Formula kimia silane ialah SiH4, dan kandungannya setinggi 99.99%. Pada suhu dan tekanan bilik, silane ialah gas toksik yang berbau busuk. Takat lebur silane ialah -185 ℃ dan takat didih ialah -112 ℃. Pada suhu bilik, silan adalah stabil, tetapi apabila dipanaskan hingga 400 ℃, ia akan terurai sepenuhnya menjadi silikon gas dan hidrogen. Silane mudah terbakar dan mudah meletup, dan ia akan terbakar secara meletup di udara atau gas halogen.

Medan permohonan

Silane mempunyai pelbagai kegunaan. Selain menjadi cara paling berkesan untuk melekatkan molekul silikon ke permukaan sel semasa pengeluaran sel suria, ia juga digunakan secara meluas dalam kilang pembuatan seperti semikonduktor, paparan panel rata dan kaca bersalut.

Silaneadalah sumber silikon untuk proses pemendapan wap kimia seperti silikon kristal tunggal, wafer epitaxial silikon polihabluran, silikon dioksida, silikon nitrida, dan kaca fosfosilikat dalam industri semikonduktor, dan digunakan secara meluas dalam pengeluaran dan pembangunan sel suria, dram penyalin silikon. , penderia fotoelektrik, gentian optik, dan kaca khas.

Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, aplikasi silanes berteknologi tinggi masih muncul, termasuk pembuatan seramik termaju, bahan komposit, bahan berfungsi, biomaterial, bahan bertenaga tinggi, dsb., menjadi asas kepada banyak teknologi baharu, bahan baharu dan baharu. peranti.