Komponen | 99.9999% | Unit |
Oksigen (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
Nitrogen | ≤0.1 | ppmV |
Hidrogen | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
Klorosilan | ≤0.1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0.1 | ppmV |
Disilane | ≤0.1 | ppmV |
Kelembapan (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Silane adalah sebatian silikon dan hidrogen. Ia adalah istilah umum untuk siri sebatian, termasuk monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) dan beberapa sebatian silikon-hidrogen tahap lebih tinggi. Antaranya, monosilane adalah yang paling biasa, kadang-kadang dirujuk sebagai silane untuk pendek. Silane adalah gas tidak berwarna dengan bau bawang putih yang menjijikkan. Larut dalam air, hampir tidak larut dalam etanol, eter, benzena, kloroform, kloroform silikon dan silikon tetraklorida. Sifat kimia silanes jauh lebih aktif daripada alkana dan mudah teroksida. Pembakaran spontan boleh berlaku apabila bersentuhan dengan udara. Ia tidak bertindak balas dengan nitrogen di bawah 25°C, dan tidak bertindak balas dengan sebatian hidrokarbon pada suhu bilik. Kebakaran dan letupan silane adalah hasil tindak balas dengan oksigen. Silane sangat sensitif terhadap oksigen dan udara. Silane dengan kepekatan tertentu juga akan bertindak balas secara letupan dengan oksigen pada suhu -180°C. Silane telah menjadi gas khas yang paling penting yang digunakan dalam proses mikroelektronik semikonduktor, dan digunakan dalam penyediaan pelbagai filem mikroelektronik, termasuk filem kristal tunggal, mikrokristalin, polihabluran, silikon oksida, silikon nitrida, dan silisid logam. Aplikasi mikroelektronik silane masih berkembang secara mendalam: epitaksi suhu rendah, epitaksi terpilih, dan epitaksi heteroepitaksi. Bukan sahaja untuk peranti silikon dan litar bersepadu silikon, tetapi juga untuk peranti semikonduktor kompaun (gallium arsenide, silikon karbida, dll.). Ia juga mempunyai aplikasi dalam penyediaan bahan telaga kuantum superlattice. Boleh dikatakan silane digunakan dalam hampir semua barisan pengeluaran litar bersepadu termaju pada zaman moden. Aplikasi silane sebagai filem dan salutan yang mengandungi silikon telah berkembang daripada industri mikroelektronik tradisional kepada pelbagai bidang seperti keluli, jentera, bahan kimia dan optik. Satu lagi aplikasi berpotensi silane ialah pembuatan bahagian enjin seramik berprestasi tinggi, terutamanya penggunaan silane untuk mengeluarkan silisid (Si3N4, SiC, dll.) teknologi serbuk mikro telah menarik perhatian lebih ramai.
①Elektronik:
Silana digunakan pada lapisan silikon polihablur pada wafer silikon apabila mengeluarkan semikonduktor, dan pengedap.
②Solar:
Silane digunakan dalam pembuatan modul solar photovoltaic.
③Perindustrian:
Ia digunakan dalam Kaca Hijau Penjimatan Tenaga dan digunakan untuk proses filem nipis pemendapan wap.
produk | Cecair Silane SiH4 | |
Saiz Pakej | Silinder 47Ltr | Y-440L |
Mengisi Berat Bersih/Cyl | 10Kgs | 125Kgs |
QTY Dimuatkan dalam 20'Container | 250 Cyl | 8Cyls |
Jumlah Berat Bersih | 2.5 Tan | 1 tan |
Berat Tara Silinder | 52Kgs | 680Kgs |
Injap | CGA632/DISS632 |
①Lebih daripada sepuluh tahun di pasaran;
②Pengilang sijil ISO;
③Penghantaran cepat;
④Sumber bahan mentah yang stabil;
⑤Sistem analisis dalam talian untuk kawalan kualiti dalam setiap langkah;
⑥Keperluan tinggi dan proses yang teliti untuk mengendalikan silinder sebelum mengisi;
⑦Ketulenan: gred elektronik ketulenan tinggi;
⑧Penggunaan: bahan sel suria; membuat polysilicon ketulenan tinggi, silikon oksida dan gentian optik; pembuatan kaca berwarna.